于省吾的古文字研究于氏是近代科学古文字学的奠基人之一。他能运用辩证方法，以古文字的构形为基础，对汉字的点、画、偏旁以及它们和音义的关系进行分析，对每一字和同时代其他字的横的关系以及它们在不同时代发生、发展和变化的纵的关系进行分析，同时结合世界原始氏族生产、生活、社会意识及古器物形制，典籍内容注疏等加以研究，因而取得较大成就。在甲骨文研究上，他在《双剑誃殷契骈枝》初编、续编、三编中，考释文字100多个，超过罗振玉、王国维之后的同辈学者。后来，尽管释字的难度越来越大，他还是孜孜以求，完成《甲骨文字释林》，考释前人所未识或已识而不知其造字本义的甲骨文字300多个，提出“具有部分表音的独体象形字”的创见。晚年他主持纂辑《甲骨文考释类编》，这是汇集各家甲骨文考释成果的集大成之作，对甲骨学的深入发展具有重要意义。在古文字和古文献的研究中，他继承和发展了王国维的“二重证据法”。他认为，地下资料和先秦典籍两者不是对等的，应该有主有辅，地下资料为主，先秦典籍为辅，这样才能得出符合客观实际的结论。他利用古文字资料校勘古籍，考镜源流，写成《易经新证》、 《论语新证》、 《诸子新证》等。他对金文的著录、训释也有一定贡献，所刊《商周金文录遗》，收《三代吉金文存》漏落器文达600余件。
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