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亦称“X射线发射光谱法”。一种发射光谱法。试样在X射线(原级X射线)激发下，产生组成元素的特征X射线(次级X射线)，通过分析晶体的衍射，各种波长的X射线彼此分开，利用探测器依次测量各种元素产生X射线的波长和强度，进行定性和定量分析。该法可分析原子序数为3～92的元素。
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